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期刊
ISSN
0947-076X
刊名
Vakuum in Forschung und Praxis
参考译名
真空研究与实践
收藏年代
1998～2024
全部
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1998, vol.10, no.3
1998, vol.10, no.4
题名
作者
出版年
年卷期
The MicroPirani{sup}TM: a solid-state vacuum gauge with wide range -- using a microfabricated sensor, a thermal conductivity gauge with improved characteristics has been developed
O. Wenzel; C. K. Bak
1998
1998, vol.10, no.4
The disappearing anode myth: strategies & solutions for reactive PVD from single magnetrons
Jeff C. Sellers
1998
1998, vol.10, no.3
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