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期刊

ISSN	0947-076X
刊名	Vakuum in Forschung und Praxis
参考译名	真空研究与实践
收藏年代	1998～2024

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2003, vol.15, no.1	2003, vol.15, no.2	2003, vol.15, no.3	2003, vol.15, no.4	2003, vol.15, no.5	2003, vol.15, no.6
2003，vol.15, no.4

题名	作者	出版年	年卷期
Freeze condensing vacuum systems offer advantages	J. R. Lines	2003	2003, vol.15, no.2
Influence of relevant gas pressure on the properties of ionplated Ta{sub}2O{sub}5 films	S. Schlichtherle; D. Huber; H. K. Pulker	2003	2003, vol.15, no.2
EUV-Lithographie fur zukunftige IC-Chips		2003	2003, vol.15, no.2
Grenzflachen-optimierte Mo/Si Multischichten als Reflektoren fur den EUV Spektralbereich		2003	2003, vol.15, no.2
Die Vakuumpumpe nach dem Scroll-Prinzip		2003	2003, vol.15, no.2
Prufung von Vakuumpumpen zur Verwendung in explosionsgefahrdeten Bereichen nach der Richtlinie 94/9/EG (ATEX 95)	Hartmut Hartel; Tammo Redeker	2003	2003, vol.15, no.2

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