期刊


ISSN1341-8939
刊名電気学会論文誌
参考译名电气学会论文志，E：传感器与微型机器部分
收藏年代1999～2024



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2007, vol.127, no.6 2007, vol.127, no.7 2007, vol.127, no.8 2007, vol.127, no.9

题名作者出版年年卷期
Self-Assembly and Magnetic Actuation of Three Dimensional Micro Hinged MechanismsHideaki Yamada; Kenji Suzuki; Hirofumi Miura; Hideaki Takanobu20072007, vol.127, no.4
Conformal Coating of Organic Dielectric Film on Gold Electrodes in Microelectromechanical System Devices by ElectrodepositionTomomi Sakata; Yuichi Okabe; Kei Kuwabara; Norio Sato; Kazuhisa Kudou; Katsuyuki Machida; Hiromu Ishii20072007, vol.127, no.4
2種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修20072007, vol.127, no.4
フッ酸，オゾン，HMDSを用いたMEMSデバイスの全気相処理によるスティクション力の低減泰井 祐輔; 角嶋 邦之; 横川 隆司; 小野 志亜之; 高橋 琢二; 諫本 圭史; 鄭 昌鎬; 藤田 博之; 年吉 洋20072007, vol.127, no.4
パイロポリマーの電気特性におけるNO{sub}2ガス吸着効果中 圭介; 橋新 剛; 玉置 純; 小西 聡20072007, vol.127, no.4
II-VI族化合物半導体ZnSe基板のITOとの電気特性一番ヶ瀬 剛20072007, vol.127, no.4
貫通型マイクロエアブリッジヒータを用いた熱式風速計の試作（チップスケール風洞型風速計）八坂 慎一; 大屋誠志郎; 三橋 雅彦; 金子 智; 伊藤 健; 菅野 洋一; 相京 幸保; 小室 眞一; 大林 一也; 木村 光照20072007, vol.127, no.4
サーミスタを使用した多機能計測による温度·風速の測定下山 昭彦; 信太 克規20072007, vol.127, no.4
植物生体電位を用いた人体活動モニタリング広林 茂樹; 田村 祐輔; 山淵 龍夫; 大薮 多可志20072007, vol.127, no.4



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