期刊


ISSN1341-8939
刊名電気学会論文誌
参考译名电气学会论文志，E：传感器与微型机器部分
收藏年代1999～2024



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2009, vol.129, no.1 2009, vol.129, no.10 2009, vol.129, no.11 2009, vol.129, no.12 2009, vol.129, no.4

题名作者出版年年卷期
Fabrication of Sub wavelength Gratings on Silicon Micro Lenses for MEMS Scanners at Optical Communication WavelengthsYoshiaki Kanamori; Mao Milira; Kazuhiro Hane20092009, vol.129, no.4
Sensing System for Multiple Measurements of Trace Elements Using Laser-Induced Breakdown SpectroscopySatoshi Ikezawa; Muneaki Wakamatsu; Joanna Pawlat; Toshitsugu Ueda20092009, vol.129, no.4
Hydrogen Selectivity of a Proton-Pumping Gate FET Hydrogen Sensor in an AC Modulation ModeTomiharu Yamaguchi; Masanori Takisawa; Toshihiko Kiwa; Hironobu Yamada; Keiji Tsukada20092009, vol.129, no.4
Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching of Lead Zirconate Titanate Thin Films for MEMS ApplicationJian Lu; Yi Zhang; Tsuyoshi Ikehara; Toshihiro Itoh; Ryutaro Maeda; Takashi Mihara20092009, vol.129, no.4
Microassembly of PZT Actuators into Silicon MicrostructuresMohd Faizul Mohd Sabri; Takahito Ono; Masayoshi Esashi20092009, vol.129, no.12
プロキシミティ裏面露光によるテーパ形状の製作と応用松本佳宣; 真壁啓司20092009, vol.129, no.12
天空の太陽をサーチする簡便な方法丹保豊和; 柴田幹; 深谷達弥20092009, vol.129, no.12
標準CMOSプロセスによる可視光ID用フォトダーリントン木村遥介; 松本佳宣20092009, vol.129, no.12
電解液を用いた容量型水平センサの試作と評価森永秀樹; 松本佳宣20092009, vol.129, no.12
モノリシック型シリコンマイクロチャネルプレートの開発佐久間啓史; 高橋幸郎20092009, vol.129, no.12
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