期刊


ISSN1341-8939
刊名電気学会論文誌
参考译名电气学会论文志，E：传感器与微型机器部分
收藏年代1999～2024



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2010, vol.130, no.4 2010, vol.130, no.5 2010, vol.130, no.6 2010, vol.130, no.7 2010, vol.130, no.8 2010, vol.130, no.9

题名作者出版年年卷期
Debris-free Low-stress High-speed Laser-assisted Dicing for Multi-layered MEMSMasayuki Fujita; Yusaku Izawa; Yosuke Tsurumi; Shuji Tanaka; Hideyuki Fukushi; Keiichi Sueda; Yoshiki Nakata; Masayoshi Esashi; Noriaki Miyanaga20102010, vol.130, no.4
Freely Expandable Single Crystalline Si Networks for MEMS ApplicationsYoshifumi Takahashi; Tatsuya Kosugi; Syungo Tomioka; Kenta Suzuki; Yasushiro Nishioka20102010, vol.130, no.4
Magnetic Torque Driving 2D Micro Scanner with a Non-Resonant Large Scan AngleWataru Makishi; Yusuke Kawai; Masayoshi Esashi20102010, vol.130, no.4
電磁駆動型2軸光走査MEMSミラー動作の磁界依存性渡部善幸; 阿部泰; 岩松新之輔; 小林誠也; 高橋義行; 佐藤敏幸20102010, vol.130, no.4
超小型電磁駆動2軸MEMSミラーの開発飯塚亜紀子; 崔成熏; 橋爪滋郎; 伊藤康博; 岡田亮二20102010, vol.130, no.4
圧電薄膜要素の多段直列接続によるセンサ出力電圧の増倍神田健介; 伊賀友樹; 松岡潤弥; 藤田孝之; 樋口行平; 前中一介20102010, vol.130, no.4
侵入窃盗における窓と鍵に対する3事象の光センサを用いた検知方式山脇彰; 片上貴之; 北園優希; 芹川聖一20102010, vol.130, no.4



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