期刊


ISSN1341-8939
刊名電気学会論文誌
参考译名电气学会论文志，E：传感器与微型机器部分
收藏年代1999～2024



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2010, vol.130, no.1 2010, vol.130, no.10 2010, vol.130, no.11 2010, vol.130, no.12 2010, vol.130, no.2 2010, vol.130, no.3
2010, vol.130, no.4 2010, vol.130, no.5 2010, vol.130, no.6 2010, vol.130, no.7 2010, vol.130, no.8 2010, vol.130, no.9

题名作者出版年年卷期
Realization of MEMS - IC Vertical Integration Utilizing Smart Bumpless BondingMasayoshi Shiozaki; Makoto Moriguchi; Sho Sasaki; Masatoshi Oba20102010, vol.130, no.5
温度制御転写における自動位置補正技術岩瀬英治; 尾上弘晃; 中井亮仁; 松本潔; 下山勲20102010, vol.130, no.5
擬似SoC技術を用いた集積型MEMS-半導体マイクロチップの開発舟木英之; 板谷和彦; 山田浩; 小野塚豊; 飯田敦子20102010, vol.130, no.5
擬似SOC技術によるMEMSセンサとセンスアンプLSIの薄型集積化モジュール飯田敦子; 小野塚豊; 西垣亨彦; 山田浩; 舟木英之; 板谷和彦20102010, vol.130, no.5
カーボンナノチューブ共析金メッキ膜を接点に用いたRF-MEMSスイッチ出尾晋一; 吉田幸久; 曽田真之介; 小川新平; 李相錫; 坂井裕一; 福本宏20102010, vol.130, no.5
高感度機械量センサのためのナノ材料の物性の測定と解析杉山進; 鳥山寿之; 中村康一; ダオベトズン20102010, vol.130, no.5
CMOS互換「配線MEMSプロセス」によるMEMS-CMOS LSIモノリシック集積化圧力センサ藤森司; 鷹野秀明; 花岡裕子; 後藤康20102010, vol.130, no.5
開口マスクによるシリコン3次元斜面形状の作製竹井裕介; 大堀敬広; 高畑智之; 菅哲朗; 岩瀬英治; 松本潔; 下山勲20102010, vol.130, no.5
シリコンMEMSミラーを用いた波長可変面発光レーザー渡辺哲也; 平田隆昭; 蒲原敦彦; 藤村直之; 矢野哲夫; 手塚信一郎; 齊藤裕己; 大山将也; 野田隆一郎20102010, vol.130, no.5



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