期刊


ISSN1341-8939
刊名電気学会論文誌
参考译名电气学会论文志，E：传感器与微型机器部分
收藏年代1999～2024



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2010, vol.130, no.4 2010, vol.130, no.5 2010, vol.130, no.6 2010, vol.130, no.7 2010, vol.130, no.8 2010, vol.130, no.9

题名作者出版年年卷期
Novel Three-Axis Solid-state Micro Accelerometer with Surrounding Beam StructureRanjith Amarasinghe; Dzung Viet Dao; Susumu Sugiyama20102010, vol.130, no.6
Preparation of Thin Lithium Niobate Layer on Silicon Wafer for Wafer-level Integration of Acoustic Devices and LSIKyeongDong Park; Masayoshi Esashi; Shuji Tanaka20102010, vol.130, no.6
Ultralow-Energy Wireless Smart-Scales System with Micropower GeneratorKazuma Kitamura; Hironori Yano; Misako Mochizuki; Tomoaki Takano; Hironori Yamauchi; Takakuni Douseki20102010, vol.130, no.6
Micro Gas Preconcentrator Made of a Film of Single-Walled Carbon NanotubesShuji Takada; Takashi Nakai; Theerapol Thurakitseree; Junichiro Shiomi; Shigeo Maruyama; Hideki Takagi; Masaki Shuzo; Jean-Jacques Delaunay; Ichiro Yamada20102010, vol.130, no.6
プラズマ化学輸送法により作製したシリコン膜特性評価村上隆昭; 吉田幸久; 横山吉典; 伊藤寿浩20102010, vol.130, no.6
反射型半導体光増幅器を用いたキャビティーリングダウン装置の特性谷本浩一; 松尾達弥; 前田佳伸20102010, vol.130, no.6
3方向カンチレバーを用いた多軸触覚センサの作製と基礎特性橘弘人; 美馬達也; 金島岳; 山下馨; 野間春生; 釜鳴志朗; 寒川雅之; 奥山雅則; 野田実; 樋口誠良20102010, vol.130, no.6
圧電駆動型RF-MEMS可変キャパシタの多値動作化西垣亨彦; 長野利彦; 大野浩志; 川久保隆; 板谷和彦20102010, vol.130, no.6
赤外線センサのための真空パッケージング技術松村剛至; 徳田貴之; 土永明延; 木股雅章; 阿部英之; 渡嘉敷直隆20102010, vol.130, no.6



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