期刊


ISSN1341-8939
刊名電気学会論文誌
参考译名电气学会论文志，E：传感器与微型机器部分
收藏年代1999～2024



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2012, vol.132, no.4 2012, vol.132, no.5 2012, vol.132, no.6 2012, vol.132, no.7 2012, vol.132, no.8 2012, vol.132, no.9

题名作者出版年年卷期
加工条件の異なる（110）＜110＞単結晶シリコン薄膜の引張試験上杉晃生; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修20122012, vol.132, no.9
生体適合性を有するフレキシブルひずみセンサの開発濱田浩幸; 神田健介; 高尾英邦; 藤田孝之; 樋口行平; 前中一介20122012, vol.132, no.9
低電圧CMOSインバータ型差動増幅回路の特性評価堀下祐輔; 松本佳宣20122012, vol.132, no.9
無機エレクトレットを用いた電荷蓄積型シリコンマイクロホン後藤正英; 萩原啓; 田島利文; 安野功修; 児玉秀和; 樹所賢一; 井口義則20122012, vol.132, no.9
凹面基板上の三次元マイクロパターニングおよび,円柱形ポリマースタンプ製作への応用朴鐘淏; 高間信行; 藤田博之; 金範埈20122012, vol.132, no.9
ダンピング効果を利用したメカニカル変位変換型Z軸加速度センサによる衝突速度検出の改善平田善明; 紺野伸顕; 伊藤恭彦; 平岡裕二; 末次英治20122012, vol.132, no.9
MEMS-LSI集積化デバイスを用いた触覚センサネットワークシステム開発のための模擬ネットワークシステムの試作中野芳宏; 室山真徳; 巻幡光俊; 田中秀治; 松崎栄; 山田整; 中山貴裕; 山口宇唯; 野々村裕; 藤吉基弘; 江刺正喜20122012, vol.132, no.9
RF-MEMSスイッチのための低電圧駆動薄膜PZT積層アクチュエータ森山雅昭; 川合祐輔; 田中秀治; 江刺正喜20122012, vol.132, no.9
弾性表面波デバイスを用いた匂い濃縮素子の研究横式康史; 中本高道20122012, vol.132, no.9
高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ－物理モデルを用いた設計と試作によるその検証畠山庸平; 江刺正喜; 田中秀治20122012, vol.132, no.9
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