期刊


ISSN0947-076X
刊名Vakuum in Forschung und Praxis
参考译名真空研究与实践
收藏年代1998～2024



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题名作者出版年年卷期
Conductance of slot channels formed by cylindrical walls: Monte Carlo calculations and experimental studies in the molecular gas flow regimeSergey Salikeev; Aleksey Burmistrov; Mikhail Bronshtein; Marina Fomina20132013, vol.25, no.4
A vacuum arc plasma source with extended design: Investigations on the working regimesA. A. Lisenkov; N. Z. Vetrov; Yu. A. Bystrov20132013, vol.25, no.4
Plasmagestutzte Flascheninnenbeschichtung: einfluss des Substratpotentials auf die barrierewirkung der SchichtenKarim Bahroun; Henrik Behm; Rainer Dahlmann; Christian Hopmann20132013, vol.25, no.4
Entwicklung multifunktionaler, kubischer Bornitridschichten: Ein langer und steiniger Weg zu dicken, eigenspannungsarmen kubischen BornitridschichtenSven Ulrich; Michael Stuber; Jian Ye20132013, vol.25, no.4
Kalibrierung von Schnuff el-Testlecks: Messung des leckagestroms gegen AtmosphareWolfgang Jitschin; Baker Farangis20132013, vol.25, no.4



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