制造业外文文献服务平台 | foreigndata.cmes.org

期刊

全部

2014, vol.59, no.1	2014, vol.59, no.10	2014, vol.59, no.11	2014, vol.59, no.12	2014, vol.59, no.2	2014, vol.59, no.3
2014, vol.59, no.4	2014, vol.59, no.5	2014, vol.59, no.6	2014, vol.59, no.7	2014, vol.59, no.8	2014, vol.59, no.9

题名	作者	出版年	年卷期
ナノ分散化による化学および機械研磨性の制御	須田聖一	2014	2014, vol.59, no.12
酸化セリウム砥粒によるガラスの化学機械研磨メカニズムの解析－砥粒のFT-IR·XPS測定による考察	佐藤誠	2014	2014, vol.59, no.12
電界迅速遊離砥粒研磨技術の開発	池田洋; 赤上陽一	2014	2014, vol.59, no.12
電界を活用した研磨スラリーの流れ制御による省スラリー研磨技術とその装置開発	松下大作	2014	2014, vol.59, no.12
水酸化フラーレンを用いたCu化学機械研磨特性と加工メカニズム解析	高谷裕浩; 道畑正岐; 林照剛	2014	2014, vol.59, no.12
難加工半導体材料の高精度研磨法の開発	久保田章亀	2014	2014, vol.59, no.12
量子分子動力学シミュレーションによる難加工材料の化学機械研磨メカニズムの解明	河口健太郎; 會澤豪大; 樋口祐次; 尾澤伸樹; 久保百司	2014	2014, vol.59, no.12