制造业外文文献服务平台 | foreigndata.cmes.org

期刊

全部

2014, vol.134, no.1	2014, vol.134, no.10	2014, vol.134, no.11	2014, vol.134, no.12	2014, vol.134, no.2	2014, vol.134, no.3
2014, vol.134, no.4	2014, vol.134, no.5	2014, vol.134, no.6	2014, vol.134, no.7	2014, vol.134, no.8	2014, vol.134, no.9

题名	作者	出版年	年卷期
Fabrication of Narrow-gapped Dual Si AFM Tips by Mechanically Polishing-back for Selective Trench Sidewalls Protection	Kenta Kawashima; Eiji Makino; Takashi Mineta	2014	2014, vol.134, no.4
一対の熱式マイクロ·アクチュエータによる交互駆動光マイクロスキャナ	齊藤修太郎; 室英夫	2014	2014, vol.134, no.4
内部応力を利用したPZT薄膜キャパシタの剥離技術	末重良宝; 本多史明; 須賀唯知; 一木正聡; 伊藤寿浩	2014	2014, vol.134, no.4
SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針と磁歪膜積層デュアルカンチレバーの作製	川島健太; 峯田貴; 牧野英司; 川島貴弘; 柴田隆行	2014	2014, vol.134, no.4
デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム微細加工	山田周史; 人母岳; 寒川雅之; 安部隆	2014	2014, vol.134, no.4