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期刊


ISSN0912-0289
刊名精密工学会誌
参考译名日本精密工程学会志
收藏年代1998~2025



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题名作者出版年年卷期
表面科学と精密工学の接点高桑雄二; 小川修一20142014, vol.80, no.5
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シリコンフォトニクスに向けたSi上への自己組織的なナノ構造·ウエハレベル形成尾身博雄; 俵毅彦20142014, vol.80, no.5
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