期刊


ISSN1341-8939
刊名電気学会論文誌
参考译名电气学会论文志，E：传感器与微型机器部分
收藏年代1999～2024



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2017, vol.137, no.4 2017, vol.137, no.5 2017, vol.137, no.6 2017, vol.137, no.7 2017, vol.137, no.8 2017, vol.137, no.9

题名作者出版年年卷期
半導体ひずみセンサを用いた耐腐食型圧力センサの開発鈴木健悟; 太田裕之; 梅山貴博20172017, vol.137, no.9
LAASマイクロアレイを用いたスクリーニング技術の研究塚田貴一; 長谷川有貴; 内田秀和20172017, vol.137, no.9
機能性メタルの熱アシスト型反応性イオンエッチングに対応した自己加熱式ステージの開発村田祐貴; 韓剛; 大川太基; 今井純一; 寒川雅之; 安部隆20172017, vol.137, no.9
Tactile Device Based on Piezoelectric MEMS by Using a Polymer/PZT Laminated StructureKensuke Kanda; Takashi Okubo; Masami Shima; Takayuki Fujita; Kazusuke Maenaka20172017, vol.137, no.9
Wireless Power Supply for All-in-one LTCC Packaged Sensor Nodes Applicable to Infrastructure MonitoringJian Lu; Lan Zhang; Masao Arakawa; Takeshi Harada20172017, vol.137, no.9
Evaluation of a Short Microelectromechanical System Process Using a Silicon-on-Insulator Diaphragm and Anodic BondingTakaki Itoh; Toshiyuki Nakaie20172017, vol.137, no.9
簡便な微生物遺伝子情報計測法の生活環境における応用古家竜之輔; 井上卓也; 湯沢友之; 毛塚博史; 鶴岡誠20172017, vol.137, no.8
SOI-MEMS技術による静電容量式MEMS加速度センサ劉健男; 室英夫20172017, vol.137, no.8
MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化和田祐樹; 延永尚記; 熊谷慎也; 石原裕己; 石居真; 佐々木実20172017, vol.137, no.8
ブリッジ構造の共振子と磁歪膜をもつMEMS磁気センサ岡田尚樹; 笹渕貴史; 小池邦博; 峯田貴20172017, vol.137, no.8
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