期刊


ISSN1341-8939
刊名電気学会論文誌
参考译名电气学会论文志，E：传感器与微型机器部分
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题名作者出版年年卷期
Fabrication of Tactile Display Mechanism Using Arrayed SMA Thick Film Actuator and Si TSV Layer with Individually Connecting DiodeRyo Saito; Yusuke Kimura; Jiale Xu; Takashi Mineta20212021, vol.141, no.7
犠牲層Poly-Si膜を併用したシリコンエッチングプロセスによる熱式MEMSフローセンサチップの性能向上笠井隆; 桃谷幸志; 中野優; 中尾秀之20212021, vol.141, no.7
ニューロン細胞外電位の安定的計測を目的とするSiN多孔膜を介した階層型共培養吉田悟志; 安田隆20212021, vol.141, no.7
分極制御によるTiO_2薄膜の光応答型濡れ性変化の促進瀬川悠太; 小林大造20212021, vol.141, no.7
低閾値整流昇圧回路を用いた非定常振動下における振動発電遠山幸也; 本間浩章; 関屋英彦; 年吉洋; 山根大輔20212021, vol.141, no.7
微粒子誘電泳動DNA検出法による新型コロナウイルス遺伝子の検出中野道彦; 稲葉優文; 末廣純也20212021, vol.141, no.7
経上皮電気抵抗測定の高精度化に向けたOrgan-on-a-Chipの設計法宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修20212021, vol.141, no.7
MEMS振動発電の出力最大化チューニング手法三屋裕幸; 芦澤久幸; 下村典子; 本間浩章; 橋口原; 年吉洋20212021, vol.141, no.7
3Dリソグラフィ法により作製した微細構造を接触界面に有するトライボ発電デバイス柳田幸祐; 飯田泰基; 本間浩章; 橋口原; 年吉洋; 鈴木孝明20212021, vol.141, no.7
赤外線センサ向け静電ねじり振動子の共振周波数電気測定畠垣知弥; 熊谷慎也; 佐々木実20212021, vol.141, no.7



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