期刊


ISSN1341-8939
刊名電気学会論文誌
参考译名电气学会论文志,E:传感器与微型机器部分
收藏年代1999~2024



全部

1999 2000 2001 2002 2003 2004
2005 2006 2007 2008 2009 2010
2011 2012 2013 2014 2015 2016
2017 2018 2019 2020 2021 2022
2023 2024

2022, vol.142, no.1 2022, vol.142, no.10 2022, vol.142, no.11 2022, vol.142, no.12 2022, vol.142, no.2 2022, vol.142, no.3
2022, vol.142, no.4 2022, vol.142, no.5 2022, vol.142, no.6 2022, vol.142, no.7 2022, vol.142, no.8 2022, vol.142, no.9

题名作者出版年年卷期
ハーフインチ水晶ウェハ上へ成膜したAlN薄膜上への弾性表面波デバイスアレイの作製永野朝日; 北村奏人; 野田周一; 村上直; 井口航平; クンプアンソマワン; 原史朗20222022, vol.142, no.9
マイクロ毛細管チャネルを用いた平滑表面を有するカラーフィルタパターン作製プロセス渡邊朋也; 道垣内公介; 足立悠輔; 小林大造20222022, vol.142, no.9
次世代社会基盤を支えるIoT,センシングシステムのための要素技術: 特集号によせて肥後昭男20222022, vol.142, no.9
Lorentz Force Frequency Modulated MEMS Magnetometer Using CW/CCW Mode Separator on Quad Mass ResonatorLinxin Zhang; Takashiro Tsukamoto; Shuji Tanaka20222022, vol.142, no.9
Edge Quality Control of an Optical Racetrack Resonator by Character Projection/Variable-shaped Beam Method to Optimize Pattern Approximation in F7000S-VD02Akio Higo; Tomoki Sawamura; Makoto Fujiwara; Eric Lebrasseur; Ayako Mizushima; Etsuko Ota; Yukinori Ochiai; Taro Arakawa; Yoshio Mita20222022, vol.142, no.9
Review of Magnetic Resonance Force Sensors Based on Nanomechanical CantileverMasaya Toda; Gaopeng Xue; Takahio Ono20222022, vol.142, no.9
Problems in Fabrication of Metal Pads for Capacitive MEMS Using Hands-on Open FacilityLinxin Zhang; Takashiro Tsukamoto; Shuji Tanaka20222022, vol.142, no.9
Double-Deck MEMS Electrostatic Vibrational Energy Harvester with Airborne InterconnectionHiroaki Honma; Hiroshi Toshiyoshi20222022, vol.142, no.9
アラニンドープ硫酸トリグリシン結晶のキラル構造に関する一考察寺澤有果菜; 喜久田寿郎; 一木正聡; 田中真人; 朝日透20222022, vol.142, no.8
旋回戻りコイル構造MEMSロゴスキーコイル型電流センサ渡部善幸; 加藤睦人; 矢作徹; 村山裕紀; 山田直也; 吉田賢一; 前原謙一; 福田祐介; 指田和之; 池田克弥; 池田康亮; 竹森俊之20222022, vol.142, no.8
123456