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期刊
ISSN
0913-5685
刊名
電子情報通信学会技術研究報告
参考译名
电子信息通信学会技术研究报告:硅器件和材料
收藏年代
2000~2025
全部
2000
2001
2002
2009
2013
2014
2015
2017
2020
2021
2022
2023
2024
2025
2024, vol.124, no.145
2024, vol.124, no.222
2024, vol.124, no.242
2024, vol.124, no.367
2024, vol.124, no.376
2024, vol.124, no.45
2024, vol.124, no.7
2024, vol.124, no.87
题名
作者
出版年
年卷期
3Dフラッシュメモリのスケーラビリテイと高信頼性を可能にするフッ素フリーワードラインモリブデンプロセスに関するシリコンテクノロジー研究集会レビュー
福島崇; 鹿嶋孝之; 背戸暁志; 大鳥博之; 加藤将起; 加藤海平; 竹平裕; 菅原陽平; 朱智尭; 原和志; 長内亮太; 別府貴幸; 田原寛子; 石工達也; 高橋検世; 有賀智崇; 植田遊; 股村雄也; 迎祐輔; 竹口直樹; 圓山洋介; 西川諒; 北川白馬; 浅川淳; 内山泰宏; 大内和也; 関根克行
2024
2024, vol.124, no.376
[招待講演]3D半導体製造におけるWetプロセスの重要性の高まり
佐藤智久
2024
2024, vol.124, no.376
[招待講演]ポリマー/Cuハイブリッド接合における表面形状制御
中村雄三; 神谷佑哲; 近藤悠介; 端山健太; 田中ファビアナリエ; 井上史大
2024
2024, vol.124, no.376
招待講演2.5D大画面Siインターポーザーにおける次世代高密度配線の実現に向けた研究
水谷将樹; 篠田健一郎; 森堅一郎
2024
2024, vol.124, no.376
[招待講演]高速高精度なD2Wハイブリッドボンディングシステムの開発
三原健太郎; 晴孝志; 三好貴之; 酒井博文; 青木進平; 寺田豊治; 橋本宏之; マリアッパンムルゲサン; 木野久志; 田中徹; 福島誉史; 井上史大; 上殿明良
2024
2024, vol.124, no.376
[招待講演]高平坦·超低温硬化を特徴とした最先端パッケージ用感光性ポリイミド
神原武彦; 吉澤篤太郎; 朝田皓; 松川大作
2024
2024, vol.124, no.376
[招待講演]高放熱性3D Chipletに向けた高熱伝導AlN膜の研究
高木剛; 二宮健生; 丹羽正昭; 小原聡顕; 百瀬健; 霜垣幸浩; 野村政宏; 藤岡洋; 森正和; 黒田忠広
2024
2024, vol.124, no.376
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