会议文集


文集名Precision Mechanical Design & Mechatronics for Sub-50nm Semiconductor Equipment
会议名2008 ASPE Spring Topical Meeting
中译名《2008年美国精密工程学会五十纳米基底半导体设备精密机械设计与机电一体化春季主题会议》
机构American Society for Precision Engineering (ASPE)
会议日期7-8 April, 2008
会议地点Berkeley, California, USA
出版年2008
馆藏号290125





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