期刊


ISSN0947-076X
刊名Vakuum in Forschung und Praxis
参考译名真空研究与实践
收藏年代1998～2023



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题名作者出版年年卷期
Qualification of a novel coating for corrosion protection applied to turbomolecular pumps in semiconductor industryMichael Froitzheim20022002, vol.14, no.2
Requirements on vacuum pumps for the use in potential explosive atmospheresHartmut Hartel20022002, vol.14, no.2
Tribological sub-micron coatings for microsystemsRalf Bandorf; Holger Luthje20022002, vol.14, no.2
The vacuum equipment of modern electron microscopesJay Jutla; Ralf Reuschling20022002, vol.14, no.2
Helium test leaks for the calibration of leak detectorsWolfgang Jitschin20022002, vol.14, no.2
Noiseless liquid ring vacuum pumpsP. Hahre20022002, vol.14, no.2
Qualifizierung einer neuartigen Korrosionsschutzbeschichtung fur den Einsatz von Turbomolekularpumpen in der HalbleiterindustrieMichael Froitzheim20022002, vol.14, no.2
Anforderungen an vakuumpumpen zur verwendung in explosionsgefahrdeten bereichenHartmut Hartel20022002, vol.14, no.2
Tribologische Sub-Mikrometer Schichten fur MikrosystemeRalf Bandorf; Holger Luthje20022002, vol.14, no.2
Die Vakuumausrustung moderner ElektronenmikroskopeJay Jutla; Ralf Reuschling20022002, vol.14, no.2
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